美國MKS真空計真空傳感器介紹-型號:901P-11030

型號:901P-11030概述

901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock 真空傳感器結合了 Piezo 和 MicroPirani? 傳感器技術，與傳統(tǒng)的熱導率計相比，具有顯著更高的精度、穩(wěn)定性、可重復性和更快的響應時間。它具有 0.00001-1000 Torr 壓力測量范圍和大氣切換，以及尺寸 NW16 ISO-KF 法蘭。它使用 RS232 數(shù)字通信接口來設置傳感器參數(shù)并提供實時壓力測量。901P 專為真空負載鎖內(nèi)的壓力測量而設計。它具有從大氣壓到 10 -5的絕對壓力測量替代負載鎖上的多個壓力測量設備的能力托和大氣切換能力。與傳統(tǒng)負載鎖設計中使用的壓力表相比，901P 精確的大氣壓力測量可以通過更快的循環(huán)時間來提高負載鎖性能，并防止負載鎖被大氣污染。901P 結合了絕壓和差壓測量技術，以提供卓越的性能和功能。901P 提供獲得專利的、獨立于氣體的絕對壓力測量范圍為 50 -1000 Torr，其精度高于熱導傳感器。與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計不同，MicroPirani? 中的傳感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，可以在非常小的體積內(nèi)進行測量。由于 MicroPirani? 技術，901P 可以讀取低至 10 -5的壓力Torr，比標準皮拉尼傳感器低兩個十年。傳感器設計最大限度地減少了對流的影響，因此 901P 可以安裝在任何方向而不會影響精度。901P 還具有 1VDC/十倍頻的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設備以進行壓力讀數(shù)或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數(shù)字用戶界面進行選擇。輔助可選模擬輸出用于提供差壓測量。901P 具有多達三個可用于過程控制的機械繼電器，例如互鎖隔離閥和真空泵。每個設定點都可以分配給差分壓電測量或組合的絕對 MicroPirani?/壓電測量。

技術規(guī)格

絕對測量范圍1.0 x 10 -5至 1500 托
差分測量范圍-760 至 +760 托
數(shù)字通信RS232
類型真空傳感器
傳感器MicroPirani?（MEMS 熱導率）和壓電微分（MEMS 隔膜）
展示不
密封材料氟橡膠
外殼標準
電連接器15 針，高密度，D-sub 公頭
界面RS232/模擬
繼電器3
配件類型NW16 ISO-KF
安裝方向任何
設定點范圍絕對：5.0 x 10 -4托至 1000 托。差分：-760 到 100 托
校準氣體空氣、氬氣、氦氣、氮氣、H2、H2O 蒸氣、CO2、氙氣、氖氣
工作溫度0 - 40°C (32 - 104°F)
最高烘烤溫度85°C (185°F)
數(shù)字控制調(diào)零、量程調(diào)整、模擬輸出、壓力單位、波特率、地址、出廠默認設置、設定點功能：值、滯后、方向、啟用、傳感器狀態(tài)、開關、LED 測試
數(shù)字狀態(tài)絕對壓力和差壓讀數(shù)、單位、設定點、工作時間、傳感器溫度、用戶標簽、型號、設備類型、序列號、固件和硬件版本、部件號、制造商

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模擬輸出1-9 VDC（每十年 1 VDC）
模擬輸出分辨率16 位
可選模擬輸出 25 VDC = 0 Torr，1 VDC/十年（壓電差分）
繼電器觸點額定值1 A @ 30VAC/DC，電阻式
繼電器響應最大 100 毫秒
電源要求9 - 30 VDC，最大 <1.2 瓦
微皮拉尼精度5 x 10 -4至 1 x 10 -3 Torr ±10% 讀數(shù)，1 x 10 -3至 100 Torr ±5% 讀數(shù)，100 Torr 至大氣 ±25% 讀數(shù)
MicroPirani 重復性1 x 10 -3至 100 Torr ±2% 讀數(shù)
壓電微分精度-10 至 10 Torr ±10% 讀數(shù)，-100 至 -10 Torr ±8% 讀數(shù)，-760 至 -100 Torr ±1% 讀數(shù)，10 至 100 Torr ±5% 讀數(shù)
壓電微分重復性-760 至 10 Torr ±1% 讀數(shù)
壓電微分零穩(wěn)定性滿量程的 ±0.1%（滿量程 = 760 托）
超壓限制1500 托（絕對值）
暴露材料硅、SiO2、Si3N4、金、低釋氣環(huán)氧樹脂、304 不銹鋼、氟橡膠
電子外殼和法蘭304不銹鋼
遵守行政長官
模擬輸出 2 分辨率12位
數(shù)字波特率4800 - 230400 波特

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