5800 系列質量流量計和質量流量控制器在穩定性和可靠性方面堪稱標桿，因
而贏得廣泛的認可。這些產品具有廣泛的流量測量范圍并適用于各種各樣的溫
度和壓力條件，非常適合在化工和石化研究、實驗室、分析、燃料電池和生命
科學等領域的應用。
5800 系列質量流量產品的亮點包括：行業領先的長期穩定性、利用符合國際
標準的主要校準系統的卓越計量系統和方法保駕護航的精度，以及各種各樣的
模擬 I/O 選項。
5800 系列是一個基于簡單模塊化架構的高度可配置平臺。經過精心挑選的 5800
系列功能支持直接替代許多品牌的質量流量控制器。5800 系列多樣選項和功能
使其成為支持用戶各種各樣應用的單一平臺。
Brooks 的傳感器技術兼具以下優點：
1、卓越的信噪比性能，可在低設定值下獲得高精度
2、通過改進傳感器制造和燒機測試工藝獲得卓越的長
3、期穩定性
4、恒溫封裝可降低對外部溫度變化的敏感性
5、寬流量范圍
6、5800 系列的流量范圍極廣。5850 型具有低至 3 ccm
7、的滿量程流量。借助 50:1 的高調節比，可重復測量或
8、控制 0.06 ccm 流量的氣體！5853 型可監測或控制高達
9、1000 lpm 的氣體流量。
10、快速響應性能
11、5800 系列的電子器件和卓越的機械配置確保快速、穩
12、定的響應特性。
長期的設備穩定性使您的生產保持在目標上。
型號 5850E、i / 5851E、i / 5860E、i / 5861E、i / 5853E、i / 5863E、i
每個產品線都有一個主力——我們的 5850E 和 5850i 系列熱式質量流量控制器符合要求。它們在全球數千個應用中積極使用了數十年，利用獨特、極其穩??定的流量傳感器提供當今苛刻的工業制造過程所需的可靠、準確和可重復的測量和控制。
特征
每年<0.2%滿量程的長期零穩定性
對命令變化的快速流量響應，過沖/下沖可忽略不計
廣泛的流量等級 - 從 3 sccm 到 1000 slpm
高壓等級 - 高達 1,500 psi
可拆卸流量傳感器
對安裝姿態不敏感
與其他質量流量控制器機械和電氣兼容
電控閥超控
耐腐蝕閥門
好處
在廣泛的過程和應用范圍內經過驗證的長期穩定性和準確性
可靠的性能帶來出色的投資回報
可拆卸流量傳感器無需連續監測和重新調整氣壓
由于僅模擬輸入/輸出，易于安裝和維修
應用
化學和石化催化劑研究和中試工藝
實驗室和分析系統
生命科學生物反應器
太陽的
美國BROOKS流量計5850型號
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5850E，i
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5851E，i
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5860E，i
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5861E，i
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5853E，i
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5863E，i
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產品類別
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質量流量控制器
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質量流量控制器
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質量流量計
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質量流量計
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質量流量控制器
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質量流量計
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微分器
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設備類型
流量范圍
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設備類型
流量范圍
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設備類型
流量范圍
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設備類型
流量范圍
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設備類型
流量范圍
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設備類型
流量范圍
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流量范圍（滿量程）
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高達 30 slpm
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10 - 100 升/分鐘
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高達 30 slpm
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10 - 100 升/分鐘
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100 -1000 升/分
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100 - 1000 升/分鐘
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最大壓力
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1500 磅/平方英寸
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1500 磅/平方英寸/100 巴
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4500 磅/平方英寸
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4500 磅/平方英寸
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1500 磅/平方英寸
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1500 磅/平方英寸
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準確性
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1.0% FS < 20 SLPM
1.5% FS 20-50 SLPM
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1% 滿量程，包括校準條件下的線性度
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1.0% FS < 20 SLPM
1.5% FS 20-50 SLPM
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1% 滿量程，包括校準條件下的線性度
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1% 滿量程，包括校準條件下的線性度
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1% 滿量程，包括校準條件下的線性度
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重復性
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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0.25% 利率
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響應時間
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E 系列：在滿量程的 2% 內 < 3 秒（0-100% 命令步長）
I 系列：滿量程 2% 內 6 秒（0-100% 命令步長）
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E 系列：在滿量程的 2% 內 < 3 秒（0-100% 命令步長）
I 系列：滿量程 2% 內 6 秒（0-100% 命令步長）
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E 系列：在滿量程的 2% 內 < 3 秒（0-100% 命令步長）
I 系列：滿量程 2% 內 6 秒（0-100% 命令步長）
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E 系列：在滿量程的 2% 內 < 3 秒（0-100% 命令步長）
I 系列：滿量程 2% 內 6 秒（0-98% 命令步長）
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E 系列：在滿量程的 2% 內 < 3 秒（0-100% 命令步長）
I 系列：滿量程 2% 內 6 秒（0-100% 命令步長）
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E 系列：在滿量程的 2% 內 < 3 秒（0-100% 命令步長）
I 系列：滿量程 2% 內 6 秒（0-100% 命令步長）
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多氣體和范圍可配置性
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不適用
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不適用
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不適用
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不適用
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不適用
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不適用
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診斷能力
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手動的
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手動的
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手動的
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手動的
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手動的
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手動的
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模擬通信
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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E 系列：0-5 Vdc
I 系列：0-5 Vdc；0-20毫安；4-20毫安
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數字通信
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不適用
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不適用
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不適用
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不適用
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不適用
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不適用
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電氣連接
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D型連接器
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D型連接器
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D型連接器
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D型連接器
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D型連接器
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D型連接器
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產品類別：質量流量控制器
微分器：經驗證的可靠性能；長期穩定性；易于在現場更改范圍和重新校準
表現
流量范圍（滿量程）：0 - 1000 升/分鐘
準確性：FS 的 1%；1.5% FS > 20 slpm
重復性：費率的 0.25%
線性度：包含在準確性中
響應時間：E 系列控制器：< 3 秒；I 系列控制器：< 6 秒；米：6秒
多氣體和范圍可配置性：—
最大壓力：控制器：1500 psig
儀表：某些型號最高可達 4500 psig
控制范圍：50:1
零穩定性：< 0.2% FS 每年
流動溫度系數
零：<0.075% FS per o C
跨度：<1.0% SP 超過 10-50 o C
輸入輸出：0-5 伏直流電；I系列：0-20毫安；4-20毫安
收視率
最高溫度：65攝氏度_
機械的
密封材料：彈性體密封
診斷
診斷能力：—
電氣
模擬通信：0-5 伏直流；0-20 毫安；4-20 毫安
數字通信：—
電氣連接：D型連接器
電源/消耗：< 10.5 瓦
遵守
認證/批準：—
尺寸：中等的
美國BROOKS流量計5850型號配件和軟件