內蒙古代理日本HORIBA流量計聯系方式
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質量流量計特征 高精度：設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。
·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，引以為豪。·?低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發了一系列的分析設備，液體控制和監測系統已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到檢查，HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
日本HORIBA流量計其它型號
SEC- (質量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質量流量計)
E40
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時?關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。
質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。