北京進口日本HORIBA流量計說明書

日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應（1秒內(nèi)）

簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號控制


日本HORIBA流量計/質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計

無錫飛斯卡精密科技有限公司

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質(zhì)量流量計特征 高精度：設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。

? UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及，響應迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額。 HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征： 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS處理

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。