西藏供應日本HORIBA流量計控制器

·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，引以為豪。·?低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發了一系列的分析設備，液體控制和監測系統已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到檢查，HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型


日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列

STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計

STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計

STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計

STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器

STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器

STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器

STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器

STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器

STEC SEC-N100數字式質量流量控制器

STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計

STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器

STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器

STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器

STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器


日本HORIBA流量計其它型號

SEC- (質量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時?關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2? F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0? F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐?壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩定工作，反應源液罐體后端控壓以罐內壓力穩定在范圍。這些器件的研發及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。? ? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產品概要：

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。

質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。

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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.