浙江供應日本HORIBA流量計質量

日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質量流量計

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內的高速響應（1秒內）

簡化氣路線無需額外增加調節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）

輕巧的尺寸

50SLM內相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號控制

HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程。

SEC- (質量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時?關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2? F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0? F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐?壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。

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