吉林代理日本HORIBA流量計說明書

? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩定工作，反應源液罐體后端控壓以罐內壓力穩定在范圍。這些器件的研發及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。? ? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產品概要：

適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?），高精度（± 1.0% S.P. *1），響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

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所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。

EC-Z500X 使用了開發的“可更改PID”系統，任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數據將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數據也能夠自動優化，實現高速響應。 復合氣體、復合流量方案 HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數量，同時節省了時間和成本。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。

質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。