青海供應日本HORIBA流量計修理

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現穩定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統的成本，尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現整個范圍內的高速響應（1秒內）

簡化氣路線無需額外增加調節器，傳感器，過濾器

穩定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）

輕巧的尺寸

50SLM內相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數字式 , DeviceNet?模式

數字信號控制


日本HORIBA流量計其它型號

SEC- (質量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時?關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2? F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0? F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐?壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型


日本HORIBA流量計規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.

適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?），高精度（± 1.0% S.P. *1），響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。

質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。