北京供應日本HORIBA流量計控制器
日本HORIBA流量計特征
高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。
高速響應
SEC-Z500X 使用了開發的“可更改PID”系統，任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數據將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數據也能夠自動優化，實現高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數量，同時節省了時間和成本。
? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩定工作，反應源液罐體后端控壓以罐內壓力穩定在范圍。這些器件的研發及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。?
? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產品概要：
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理
常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數字式自動壓力調節器。根據不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發生變化時，管道或罐體內的壓力也隨之發生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩定，甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發出UR-Z700系列，通過響應，高精度，穩定控制的性能來調整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩定的控制壓力，并確保氣體質量流量控制器及反應源液的穩定運行。?
日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC-N100數字式質量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器
? UR系列產品為使用高精度壓力傳感器及，響應迅速壓電陶瓷閥的數字式調節器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額。
HoribaZ700系列的產品特征：
可使用DeviceNet控制接口
符合官方要求的RoHS處理
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。
質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。