西藏代理日本HORIBA流量計售后服務有哪些
日本HORIBA流量計規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
日本HORIBA流量計型號SEC- (質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質量流量計)E40E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時 關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計其它型號
SEC- (質量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質量流量計)
E40
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時?關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計概要
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
? UR系列產品為使用高精度壓力傳感器及，響應迅速壓電陶瓷閥的數字式調節器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額。
HoribaZ700系列的產品特征：
可使用DeviceNet控制接口
符合官方要求的RoHS處理
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。
質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。
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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.
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