新疆供應日本HORIBA流量計質量
EC-Z500X 使用了開發的“可更改PID”系統,任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優化,實現高速響應。 復合氣體、復合流量方案 HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節省了時間和成本。
HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品。現在,手攜的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器: Z500系列。相對于舊有的型號,Z500X 系列實現了的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程。
·?適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途:在普通產業市場中,擁有眾多的銷售業績,引以為豪。·?低成本:產品陣容中有力求具有成本優勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業的工程項目研究,諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標,我們已成功開發了一系列的分析設備,液體控制和監測系統已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段,從材料分析到檢查,HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
日本HORIBA流量計概要
質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品。現在,手攜的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器: Z500系列。
相對于舊有的型號,Z500X 系列實現了的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外,藉由產品材料的技術革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求,為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。
質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規格齊全,同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統,對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。