廣西供應日本HORIBA流量計質量
HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品。現在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。相對于舊有的型號，Z500X 系列實現了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程。
日本HORIBA流量計(型號：S48300/HMT)
1，可應用行業：真空鍍膜 表面處理 配氣系統等
2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3，產品特點：
A,高精度
B,良好的線性
C,的響應
D,電磁閥使用壽命≥100萬次
E,對零點漂移有效的抑制
F,化的零配件供應
G,通訊接口優勢
H,多臺控制器可以同時運行
日本HORIBA流量計型號SEC- (質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質量流量計)E40E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時 關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計概要
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
日本HORIBA流量計概要
質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品。現在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。
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