SLA 系列彈性體密封壓力控制器

金屬密封熱 MFC

GP200 系列 金

屬密封 P-MFC

wxfsk888@163.com

利用我們的熱 MFC 核心技術，通過閉 環控制消除下垂、升壓和滯后。

超快的響應速度和高純度的全金屬 流動通道能夠最大程度減少污染， 提高產量。

我們最先進的 GP200 MFC 是首款 全壓力不敏感的 P-MFC，采用獨特 的設計方法，能夠在各種各樣的運行 條件下實現最終精密工藝氣體輸送。

能夠在極低流量應用中實現最精確 的測量和控制。

• 用于 SLA 系列質量流量設備，最大程 度提高工藝一致性成效

• 廣泛的壓力測量和控制范圍

• 下游或上游控制模式

• 耐用、穩定的金屬頂蓋可防止設備在 安裝期間受損

• 可單獨輕松訪問的診斷/維護端口

•  SLAMf 系列采用 NEMA4X/IP66 防 護等級硬化外殼，能夠勝任軟管沖洗/

虹吸應用。

• 適用于對水分或氧氣敏感的工藝

• 超穩定、高精度的測量傳感器

• 快速精密控制閥

• 高完整性(密封) 、超高純度、全金屬 潤濕流動通道

• 耐腐蝕的 Hastelloy® 傳感器

•  MultiFlo™  可編程多氣體和多量程 功能

• 實時流量錯誤檢測和壓力瞬態不敏 感技術

• 一個真正的壓差傳感器提供卓越的流 量測量精度和可重復性，同時降低測 量不確定性

• 專為低壓降而設計的層流元件使 GP200 成為所有壓力、氣體和工藝 理想的通用 P-MFC 解決方案。

• 嵌入式 MultiFlo™ 氣體型號支持實時 重新配置氣體和流量范圍，以獲得最 大的工藝靈活性

• 零泄漏控制閥可將閥門關閉性能提 高 100 倍(可選)

• 通信協議：DeviceNet™、EtherCAT® 和 RS485

• 真實的質量流量測定結果，不是來自 于推斷

• 固有的流體密度計

• 質量流量或體積流量和密度或溫度 的可選多變量輸出

• 對流體類型不敏感

• 多種多樣的外殼供選項 — 高達 NEMA 4X/IP66 防護等級

• 高壓性能可滿足嚴苛的研究應用需求

•  Zone 2 和 Class 1 Division 2 的可選 危險區域認證

• 內置用戶可設置的警報和診斷功能

• 壓力控制范圍 —

o 標準：20 比 1，高達 1500 psi (100 bar)

o 可選：高達 4500 psi (310 bar)

• 流量范圍 — 3 sccm – 50 lpm

• 精度 —

o 傳感器滿量程的 ±0.25%(滿量程 >300 psia)

o 傳感器滿量程的 ±0.12%(滿量程 <300 psia)

• 最大壓力 — 4500 psia (310 bar)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 300 slm

• 精度 — SP 的 ±1%

• 最大壓力 — 高達 500 psia (34.4 bar)

• 溫度范圍 — 5–65°C (40 -149°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 50,000 sccm

• 精度 — SP(滿量程的 5-100%)的 ±1%

• 最大壓力 — 高達 60 psia (4 bar)

• 溫度范圍 — 10-60°C (50-140°F)

• 流體類型 — 氣體和液體

• 流量范圍 — 1–27,000+ gm/hr

• 精度 — 流速的 0.2–0.5%

• 最大壓力 —

o 標準 500 psi (34 bar)

o 可選 1500 (103 bar) 或 4500 psi (310 bar)

• 溫度范圍 — 0-60°C (33-140°F)

SLA 系列

通用熱 MFC

美國BROOKS流量計-GF40 系列MultiFloTM  熱 MFC

5850E 和 i 系列

模擬熱 MFC

SLAMf 系列

NEMA 4X/IP66 防護等級 熱 MFC

經驗證的的 MFC，適用于各種各樣的 質量流量需求和應用，可提供卓越的 結果和更低的總擁有成本。

設備設計緊湊，只需一臺即可測控多 種氣體和流量，最大限度地提高工藝 靈活性和生產力，同時保持精確度。

極其可靠、準確和可重復的測量及控 制性能可滿足嚴苛的工業流程需求。

經實踐考驗的 SLA5800 具有高精 度和長期穩定性，配有專門設計的 NEMA 4X/IP66 防護等級硬化外殼， 適用于最惡劣的環境。

• 卓越的長期漂移穩定性和業內首屈 一指的 MTBF

• 行業領先的設備線性度、可重復性和 可再現性

• 廣泛的流量和壓力量程

• 可編程多氣體和多量程功能

• 獨立且易于訪問的維護端口簡化了 安裝、診斷和故障排除

• 與 SLA 系列壓力控制器配套使用，可 消除下垂、升壓和滯后

• 專為生物技術應用設計的全新選項 套裝

•  MultiFlo™ 技術使一臺 MFC 能夠支 持數千種氣體類型和量程組合，無需 將其從氣體管路中拆除或影響精確度

• 卓越的工藝氣體精度

• 適用于一系列的氣體

• 廣泛的流量和壓力量程

• 流量可隨指令變化做出快速響應，過 沖/下沖可忽略不計

• 僅模擬輸入/輸出，使安裝和維護更 輕松快捷

•  NEMA 4X/IP66 防護等級硬化外殼， 適用于軟管沖洗/虹吸應用

• 危險區域認證和批準：ATEX、CE、 IECEx、KOSHA、UL(認證) Class 1 Division 2 和 Zone 2

• 廣泛的流量、溫度和壓力范圍

• 可編程多氣體和多量程功能

• 與 SLA 系列壓力控制器配套使用，可 消除下垂、升壓和滯后

• 專為生物技術應用設計的全新選項 套裝

• 支持包括 EtherNet/IP™ 和          PROFINET® 在內的各種通信協議

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 2500 lpm

• 精度 — 17025 臺認證設備可達到 SP(滿量程的 20-100%)的 ±0.6%

• 最大壓力 —

o 標準 1500 psi (100 bar)

o 可選 4500 psi (310 bar)

• 溫度范圍 — -14-65°C (7-149°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 50 slpm

• 精度 — SP(滿量程的 35-100%)  的 ±1%

• 最大壓力 — 150 psig (10 bar)

• 溫度范圍 — 5-50°C (41-122°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 1000 lpm

• 精度 — 滿量程的 ±1%

• 最大壓力 — 1500 psig (100 bar)

• 溫度范圍 — 5-65°C (41-149°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 2500 lpm

• 精度 — 17025 臺認證設備可達到 SP(滿量程的 20-100%)的 ±0.6%

• 最大壓力 —

o 標準 1500 psi (100 bar)

o 可選 4500 psi (310 bar)

• 溫度范圍 — -14-65°C (7-149°F)

Sho-Ratem 系列

玻璃管 VA 流量計

GT1600 系列 玻

璃管 VA 流量計

MT3750 系列

金屬管 VA 流量計

MT3809 系列 金

屬管 VA 流量計

簡單、堅固的設計可確保低流量和高

簡單、堅固的設計可確保低流量和高

具備在惡劣的環境下實現可靠、耐用、

具有最廣泛的溫度、壓力和流量量程，

流量氣體和液體應用的持久性能，而

流量氣體和液體應用的持久性能，而

低流量測量的性能。

適用于在危險、偏遠地區測定流體。

這些應用中觀察工藝至關重要。

這些應用中觀察工藝至關重要。

• 體類型 — 清潔液體和氣體

• 流量范圍 —

o 空氣：高達 15 scfm / 425 slpm

o 水：高達 5 gpm / 19 lpm

• 精度 — 滿量程的 ±3、±5、±10%

• 最大壓力 — 200 psig (13.8 bar)

• 溫度范圍 — 1-121°C (33-250°F)

• 體類型 — 清潔液體和氣體

• 流量范圍 —

o 空氣：高達 150 scfm/270 m3n/hr

o 水：高達 21 gpm/4,800 l/h

• 精度 — 滿量程的 ±2、±5、±10%，級 別 2.5 acc VDI/VDE(可選滿量程的

±1% FS，Class 1.6 acc VDI/VDE)

• 最大壓力 — 500 psig (34.5 bar)

• 溫度范圍 — 1-121°C (33-250°F)

• 流體類型 — 清潔液體、氣體和蒸汽

• 流量范圍 —

o 空氣：高達 110 scfh/3.1 m3n/hr

o 水：高達 26 gpm/100 l/h

• 精度 — 滿量程的 ±3、±5%

o Class 2.5、4.0 VDI

• 最大壓力 —

o 標準 1500 psig (100 bar)

o 可選 4000 psig (276 bar)

• 溫度范圍 — -50-204°C (-58-400°F)

• 流體類型 — 清潔液體、氣體和蒸汽

• 流量范圍 —

o 空氣：高達 750 scfm/1200 m3n/hr

o 水：高達 440 gpm / 100,000 l/h

• 精度 — 滿量程的 ±1%、±2%、±3% 、±5%

o Class 1.6、2.5、4.0 VDI

• 最大壓力 —

o 標準 6000 psig (413.7 bar)

o 可選 20,000 psig (1379 bar)

• 溫度范圍 — -198-420°C (-325-788°F)

XacTorr 系列電容式壓力計

VersaTorr 系列真空計

機械壓力表、開關和變送器

美國BROOKS流量計SolidSense II® 壓力傳感器

先進的真空測量技術幾乎消除了漂移

適用于許多真空應用的多合一超寬

卓越的多功能性和可靠性與耐用的設

在超高純度和特種氣體應用中通過

并提供了更長的使用壽命。

范圍氣體測量解決方案。

計和材料相輔相成，可滿足各種工業 流程的應用需求。

可靠的壓力監測實現智能、精密的 數字測量。

• 屏蔽傳感器可防止顆粒積聚

• 雙區溫度控制提高了測量穩定性和 可重復性

• 數十年的數字校準提供了卓越的已 知精度窗口

• 獨立診斷服務端口

• 加熱或不加熱 可用型號

• 9 個十進制的超寬測量范圍

• 可編程設置和參數

• 熱損失 MEMS Pirani 可在中低真空 范圍內進行最準確的測量• Tri-Sensor Transducer 型號使用精密 電容膜片規傳感器來消除 氣體依賴

•  2 英寸不銹鋼固態開關和變送器

• 可調節壓力開關設定點，用于操作燈 或繼電器

• 多個工藝連接和插座方向

•  316L 鋼可承受惡劣環境

• 在無氧室中焊接，符合苛刻的高純度 應用的嚴格清潔和安全標準

• 材料無焊接，耐腐蝕

• 在具有出色的零位穩定性，精度為滿 量程的 0.25%

• 型號適用于集成顯示器或全功能可 編程顯示器

• 數字熱補償采用多點溫度補償法

• 專有的微加工硅應變計可達到極低 的零點漂移

• 壓力范圍 — 0.1 至 1000 Torr

• 準確度 — 讀數的 ±0.15% 至 0.25%

• 溫度范圍 — 環境溫度至 160°C

• 測量范圍 — 4 十年

• 壓力范圍 — 7.5x10¯7   至 1000 Torr

• 準確度 — 讀數的 ±5% 至 ±0.5%

• 溫度范圍 — 環境溫度至 50°C

•  測量范圍 — 9 十年

• 壓力范圍 — 高達 4000 psi (276 bar)

• 精度 — 滿量程的 1%

• 具有邏輯輸出的開關：

o 斷開–接通和類型 1 (0 到 9-30 Vdc)

o 類型 2(8 至 30 Vdc)和

o 類型 3(0 至 5 Vdc)

• 具有行業標準輸出的變送器 — 4–20 mA；0-5 Vdc；1–5 Vdc

• 壓力范圍 — -15–3000 psi (205 bar)

• 精度 — 滿量程的 1%

• 輸出類型 — 模擬電壓或電流

• 認證 — CE、FM 和 ATEX