美國mks流量計G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNet I/o。數字控制電子設備利用最新的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出快速、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。
1、流速從5到50，000 sccm
2、氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項
3、廣泛選擇數字(EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA) I/O
4、標準閉合電導泄漏率小于滿量程的0.1%
5、小于750毫秒的建立時間
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型號 |
滿量程流量范圍 |
配件類型 |
密封材料 |
價格 |
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GE50A013101RMV020 |
10 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013102RMV020 |
100 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013102SMV020 |
100 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013103RMV020 |
1000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013103SMV020 |
1000 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013201RMV020 |
20 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013202RMV020 |
200 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013203RMV020 |
2000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013204RMV020 |
20000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013204SMV020 |
20000 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013501RMV020 |
50 sccm |
4VCR Male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013502RMV020 |
500 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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GE50A013503RMV020 |
5000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
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規范
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類型
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質量流量控制器
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跨度溫度系數
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讀數的% 3c 0.08%/C
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控制范圍
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滿量程的2%至100%
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入口壓力系數
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讀數的%3C0.02%每平方英寸
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滿量程流量范圍
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5 - 50，000 sccm
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典型建立時間
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%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%
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密封材料
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氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez
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預熱時間
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30分鐘
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模擬連接器
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9引腳或15引腳D-sub minimum
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工作溫度
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10攝氏度至50攝氏度
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最大入口壓力
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150磅/平方英寸
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儲存濕度
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0至95%相對濕度，非冷凝
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正常工作壓差
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10到5000 sccm10至40 psid，10000至20000 sccm15至40 psid，30000至50000 sccm25至40磅/平方英寸
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儲存溫度
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-20至80攝氏度
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耐受壓力
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1000磅/平方英寸
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通過關閉的閥門泄漏完整性
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高達10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS
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破裂壓力
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1500磅/平方英寸
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典型精度
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20至100%滿量程時為設定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2%
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濕材料
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316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳
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可重復性
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讀數的0.3%
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表面拋光
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16英寸平均半徑
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解決
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滿量程的0.1%
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重量
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3磅(1.4千克)
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零溫度系數
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%3C0.05%滿量程/℃
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服從
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英國國教會
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特征
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數字輸入輸出 |
DeviceNet |
RS485 |
過程現場總線（process field bus的縮寫） |
以太貓 |
PROFINET |
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所需輸入功率 |
+11至+25伏直流電每(%3C2瓦) |
+15至+24伏直流電(%3C2瓦) |
+15至+24伏直流電(%3C2瓦) |
+24伏直流電(%3C3瓦) |
+24伏直流電(%3C3瓦) |
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連接器 |
5針微型連接器(電源和通信) |
9針D型公接頭(電源和通信) |
9針D型公接頭(電源)
9針D型內螺紋(通用) |
2個RJ-45(通信)男性，M8男性，
5針(電源) |
2個RJ-45(通信)男性，M8男性，
5針(電源) |
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數據速率切換/選擇 |
4個位置:125，250，500K(默認)
(可通過網絡編程) |
無開關通過RS485設置數據速率 |
無開關通過Profibus設置數據速率 |
沒有開關 |
沒有開關 |
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商業匯率 |
125 Kbps250 Kbps500 Kbps |
9.6 Kbps19.2 Kbps 38.4 Kbps |
9.6 Kbps至12 Mbps |
100 Mbps |
100 Mbps |
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MAC ID交換機/地址 |
2個開關，10個位置；0.0到6.3 1到254 |
通過RS485站地址0，0至9，9設置地址 |
2個開關，10個位置 |
3個開關，16個位置 |
不適用的 |
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網絡規模 |
多達64個節點 |
多達32個節點 |
多達99個節點 |
多達4095個節點 |
不適用的 |
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視覺指示器 |
LED網絡(綠色/紅色)
LED模塊(綠色/紅色) |
LED通信(黃色)
LED錯誤(紅色) |
LED通信(綠色/紅色)
LED錯誤(綠色/紅色) |
LED電源(綠色)
LED運行(綠色)
LED錯誤(紅色)
LED通信(綠色) |
LED維護(琥珀色)
LED總線故障(紅色)
LED就緒(綠色)
LED系統故障(紅色) |
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服從 |
英國國教會 |
英國國教會 |
英國國教會 |
英國國教會 |
英國國教會 |
廣泛的數字和模擬接口選擇
GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I/O。數字控制電子設備利用最新的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供快速和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數字I/O可輕松用于替換1179A MFCs的相同I/O類型。所有GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。
標準3英寸尺寸
GE50A采用標準的3英寸尺寸，最常用于5 sccm至50 slm流速范圍內的MFC，無需修改現有的氣體管線配置即可使用。
所有金屬浸濕表面
GE50A的設計采用了最少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，所有潤濕表面都是金屬的。GE50A標配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體
設定值準確度的百分比
對于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數字校準產生1%的設定點精度，使用N2校準氣體。設定點精度可實現精確的過程控制，相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質量流量，精度為滿量程的0.2%。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監視MFC功能并就地收集性能數據。
專利熱傳感器
成熟的專利熱傳感器設計提供了卓越的零點穩定性。美國專利號5461913。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。
質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空
和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發生器及測量工具, 氟離子 /
臭氧反應氣體發生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀
光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。