安徽代理美國mks流量計使用手冊

美國mks流量計技術規格類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產品)控制范圍：20-1000sccm滿量程流量范圍：1000sccm配件類型：4錄像機男性密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數：讀數的%3c0.08%/C入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預熱時間：30分鐘

美國mks流量計G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數字控制電子設備利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。廣泛的數字和模擬接口選擇GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I/O。數字控制電子設備利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2% 可重復性：讀數的0.3% 解決：滿量程的0.1% 零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數：讀數的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5% 預熱：時間30分鐘 工作溫度：10 - 50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝 儲存溫度：-20至80攝氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光：16英寸平均半徑 重量：3磅(1.4千克)

GE50A彈性體密封的5-50，000sccm質量流量控制器類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產品)控制范圍：2-100sccm滿量程流量范圍：100sccm配件類型：0.25英寸。世偉洛克風格密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數：讀數的%3c0.08%/C入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監視MFC功能并就地收集性能數據。成熟的專利熱傳感器設計提供了的零點穩定性。美國專利號5461913。美國mks流量計產品系列概述GE50A彈性體密封的5-50，000sccm質量流量控制器類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產品)控制范圍：2-100sccm滿量程流量范圍：100sccm配件類型：0.25英寸。世偉洛克風格密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數的0.3%

GE50A采用標準的3英寸尺寸，常用于5sccm至50slm流速范圍內的MFC，無需修改現有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設計采用了少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，潤濕表面都是金屬的。GE50A標配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設定值準確度的百分比對于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數字校準產生1%的設定點精度，使用N2校準氣體。設定點精度可實現的過程控制，相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質量流量，精度為滿量程的0.2%。

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