西藏進口美國mks流量計使用手冊
典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2% 可重復性：讀數的0.3% 解決：滿量程的0.1% 零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數：讀數的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5% 預熱：時間30分鐘 工作溫度：10 - 50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝 儲存溫度：-20至80攝氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光：16英寸平均半徑 重量：3磅(1.4千克)
工作溫度：10-50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝儲存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從英國國教會G系列GE50A013103SMV020數字控制質量流量控制器利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出和可重復的響應。它的滿量程流量范圍為100sccm，控制范圍為2至1000sccm，具有接地的15引腳D-submixture連接器，以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。美國mks流量計產品系列概述
G系列GE50A013201RMV020的滿量程流量范圍為20 sccm，控制范圍為0.4至20 sccm，具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號。校準N2(或等效氣體)，這是一個數字控制的質量流量控制器，利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內和可重復地響應設定點。美國mks流量計產品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50，000 sccm質量流量控制器
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