廣東代理美國mks流量計控制器

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監視MFC功能并就地收集性能數據。成熟的專利熱傳感器設計提供了的零點穩定性。美國專利號5461913。美國mks流量計產品系列概述GE50A彈性體密封的5-50，000sccm質量流量控制器類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產品)控制范圍：2-100sccm滿量程流量范圍：100sccm配件類型：0.25英寸。世偉洛克風格密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數的0.3%

類型：質量流量控制器 校準氣體：N2(或同等產品) 控制范圍：2 - 100 sccm 滿量程流量范圍：100 sccm 配件類型：0.25英寸。世偉洛克風格 密封材料：氟橡膠 流量輸入輸出信號：0 - 5伏直流電 模擬連接器：15針D-sub(接地) 大入口壓力：150磅/平方英寸 正常工作壓差：10至40磅/平方英寸 耐受壓力：1000磅/平方英寸 破裂壓力：1500磅/平方英寸

美國mks流量計G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數字控制電子設備利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。廣泛的數字和模擬接口選擇GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I/O。數字控制電子設備利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

美國mks流量計技術規格類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產品)控制范圍：20-1000sccm滿量程流量范圍：1000sccm配件類型：4錄像機男性密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數：讀數的%3c0.08%/C入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預熱時間：30分鐘

典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2% 可重復性：讀數的0.3% 解決：滿量程的0.1% 零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數：讀數的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5% 預熱：時間30分鐘 工作溫度：10 - 50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝 儲存溫度：-20至80攝氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光：16英寸平均半徑 重量：3磅(1.4千克)

解決：滿量程的0.1%零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數：讀數的%3c0.08%/C入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預熱：時間30分鐘工作溫度：10-50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝儲存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從：英國國教會美國mks流量計G系列GE50A013103RMV020數字控制質量流量控制器利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出和可重復的響應。它的滿量程流量范圍為1000sccm，控制范圍為20至1000sccm，具有接地的15引腳D-submixture連接器，以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。

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