遼寧代理美國(guó)mks流量計(jì)使用手冊(cè)

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫(kù)存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。成熟的專利熱傳感器設(shè)計(jì)提供了的零點(diǎn)穩(wěn)定性。美國(guó)專利號(hào)5461913。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述GE50A彈性體密封的5-50，000sccm質(zhì)量流量控制器類型：質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍：2-100sccm滿量程流量范圍：100sccm配件類型：0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號(hào)：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%

美國(guó)mks流量計(jì)技術(shù)規(guī)格類型：質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍：20-1000sccm滿量程流量范圍：1000sccm配件類型：4錄像機(jī)男性密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號(hào)：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預(yù)熱時(shí)間：30分鐘

美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸，常用于5sccm至50slm流速范圍內(nèi)的MFC，無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設(shè)計(jì)采用了少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，潤(rùn)濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比對(duì)于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度，使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)的過(guò)程控制，相對(duì)于滿量程精度而言。對(duì)于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量，精度為滿量程的0.2%。

典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2% 可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3% 解決：滿量程的0.1% 零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5% 預(yù)熱：時(shí)間30分鐘 工作溫度：10 - 50攝氏度儲(chǔ)存濕度：0至95%相對(duì)濕度，非冷凝 儲(chǔ)存溫度：-20至80攝氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過(guò)關(guān)閉的閥門泄漏完整性：高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光：16英寸平均半徑 重量：3磅(1.4千克)

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空
和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /
臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀
光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。