湖南供應美國mks流量計說明書

GE50A彈性體密封的5-50，000sccm質量流量控制器類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產品)控制范圍：2-100sccm滿量程流量范圍：100sccm配件類型：0.25英寸。世偉洛克風格密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數：讀數的%3c0.08%/C入口壓力系數：讀數的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%

GE50A采用標準的3英寸尺寸，常用于5sccm至50slm流速范圍內的MFC，無需修改現有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設計采用了少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，潤濕表面都是金屬的。GE50A標配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設定值準確度的百分比對于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數字校準產生1%的設定點精度，使用N2校準氣體。設定點精度可實現的過程控制，相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質量流量，精度為滿量程的0.2%。

HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發生器及測量工具, 氟離子 / 臭氧反應氣體發生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們的氣體流量校準系統，對品牌的MFC都可的清洗校準。

預熱：時間30分鐘工作溫度：10-50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝儲存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從：英國國教會

工作溫度：10-50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝儲存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關閉的閥門泄漏完整性：高達10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從英國國教會G系列GE50A013103SMV020數字控制質量流量控制器利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出和可重復的響應。它的滿量程流量范圍為100sccm，控制范圍為2至1000sccm，具有接地的15引腳D-submixture連接器，以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。美國mks流量計產品系列概述

美國mks流量計G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數字控制電子設備利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定值做出、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。廣泛的數字和模擬接口選擇GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I/O。數字控制電子設備利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

G系列GE50A013201RMV020的滿量程流量范圍為20 sccm，控制范圍為0.4至20 sccm，具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號。校準N2(或等效氣體)，這是一個數字控制的質量流量控制器，利用的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內和可重復地響應設定點。美國mks流量計產品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50，000 sccm質量流量控制器

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