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MKS型253排氣節(jié)流閥調(diào)節(jié)從處理系統(tǒng)排出的氣體。它的擋板定位調(diào)節(jié)氣體流量，從而控制工藝壓力。253在擋板軸和電機(jī)傳動軸之間安裝了一個非線性執(zhí)行器，以產(chǎn)生線性的閥門傳遞特性，并提供平滑的線性壓力控制。MKS型253可在標(biāo)準(zhǔn)尺寸和法蘭風(fēng)格，并兼容所有的MKS節(jié)流閥控制器。
美國mks流量計G系列GE50A013102R...
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MKS型253排氣節(jié)流閥調(diào)節(jié)從處理系統(tǒng)排出的氣體。它的擋板定位調(diào)節(jié)氣體流量，從而控制工藝壓力。253在擋板軸和電機(jī)傳動軸之間安裝了一個非線性執(zhí)行器，以產(chǎn)生線性的閥門傳遞特性，并提供平滑的線性壓力控制。MKS型253可在標(biāo)準(zhǔn)尺寸和法蘭風(fēng)格，并兼容所有的MKS節(jié)流閥控制器。