美國mks流量計:多氣體-多量程-彈性體密封、5 - 50,000 sccm 質量流量控制器
G 系列 GE50A 數字控制質量流量控制器可用于 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。數字控制電子設備利用最新的 MKS 控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點進行快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。數字校準在校準氣體上產生 1% 的設定點精度。
流速從 5 到 50,000 sccm
Viton、Buna、Neoprene 或 Kalrez 的密封件和閥塞選項
多種數字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 選擇
標準閉合電導泄漏率小于滿量程的 0.1%
小于 750 毫秒的建立時間
相比 模型 圖紙、CAD 和規格 滿量程流量范圍 配件類型 密封材料 模擬連接器 可用性 價格
GE50A013101RMV020 10 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013102RMV020 100 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013102SMV020 100 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013103RMV020 1000 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013103SMV020 1000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013201RMV020 20 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013202RMV020 200 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013203RMV020 2000 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013204RMV020 20000 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013204SMV020 20000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013501RMV020 50 立方厘米 4VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013502RMV020 500 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我們
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GE50A013503RMV020 5000 立方厘米 4 VCR 公頭 氟橡膠 15 針 D-sub（接地） 聯系我
配置選項
類型質量流量控制器
控制范圍滿量程的 2% 至 100%
滿量程流量范圍5 - 50,000 立方厘米
密封材料Viton、Buna-N、氯丁橡膠或 Kalrez
模擬連接器9 針或 15 針 D 型超小型
最大入口壓力150 磅/平方英寸
正常工作壓差10 至 5000 立方厘米；10 至 40 psid，10000 至 20000 sccm；15 至 40 psid，30000 至 50000 sccm；25 到 40 psid
證明壓力1000 磅/平方英寸
爆破壓力1500 磅/平方英寸
典型精度20 至 100% 滿量程的 ±1% 設置點，2 至 20% 滿量程的 ±0.2% 滿量程
重復性±0.3% 讀數
解析度滿量程的 0.1%
零溫度系數<滿量程的0.05%/°C
跨度溫度系數<0.08% 讀數/°C
入口壓力系數<0.02% 讀數/psi
典型穩定時間<750 毫秒，典型值高于滿量程的 5%
熱身時間30分鐘
工作溫度10°C 至 50°C
儲存濕度0 至 95% 相對濕度，無冷凝
貯存溫度-20° 至 80°C
外部泄漏完整性<1 x 10 -09 (scc/sec He)
通過關閉閥門泄漏完整性高達 10K 閥門 <0.1% FS 在 40 psig 到大氣壓，20K - 50K 閥門 <1.0% FS 在 40 psig 到大氣壓
接液材料316L SS VAR、316 SS、Elgiloy®、鎳
表面處理16µ 英寸平均 Ra
重量3 磅（1.4 公斤）
遵守行政長官
特征
廣泛的數字和模擬接口選擇
GE50A 數控 MFC 可提供模擬或數字 I/O。數字控制電子設備采用最新的 MKS 控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。GE50A 的模擬和數字 I/O 可輕松用于替換 1179A MFC 的相同 I/O 類型。所有 GE50A 都包含 Modbus 作為可用的輔助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。
所有金屬潤濕表面
GE50A 的設計采用了最少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，所有潤濕的表面都是金屬的。GE50A 標配 Viton® 密封件以及 Buna、Neoprene®、EPMD 或 Kalrez® 選項，允許設備使用需要這些替代品之一的氣體
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監控 MFC 功能并就地收集性能數據。
標準 3 英寸占地面積
GE50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范圍內采用 MFC 最常使用的標準 3 英寸占地面積，無需修改現有氣體管線配置即可使用。
設定點精度百分比
包含的數字校準產生 1% 的設定點準確度，使用 N2 校準氣體，用于 20% 至 100% 的滿量程流量范圍。設定點精度可實現精確的過程控制與相對于滿量程的精度。對于 2 至 20% 滿量程的質量流量，精度為 ±0.2% 滿量程。
專利熱傳感器
久經考驗的專利熱傳感器設計可提供出色的零位穩定性。美國專利號 5461913。
配件
相比 描述 圖紙、CAD 和規格 可用。 價格
CB147-12-10
電纜，質量流量控制器，DB9，10 英尺。
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CB147-1-10
電纜，質量流量控制器，PR4000、146、167、186 或 647 控制器，DB15，10 英尺。
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wa01220-01 質量流量控制器電纜 100016744
電纜，質量流量控制器，946 控制器，DB15 到 HD15，10 英尺。
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100016745
電纜，質量流量控制器，946 控制器，DB15 到 HD15，25 英尺。
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CB259-5-10
電纜，質量流量控制器，246、247 或 660 控制器，DB15，10 英尺。
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100016746
電纜，質量流量控制器，946 控制器，DB15 到 HD15，50 英尺。
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100019087
電纜，質量流量控制器，946 控制器，DB9 到 HD15，10 英尺。
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100019088
電纜，質量流量控制器，946 控制器，DB9 到 HD15，25 英尺
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100019089
質量流量控制器電纜，946 控制器，DB9 到 HD15，50 英尺。
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RCBDMFC-1-10
電纜，質量流量控制器，246、247 或 660 控制器，RoHS，DB15，10 英尺。
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RCBDMFC-4-10
電纜，質量流量控制器，PR4000、146、167、186 或 647 控制器，RoHS，DB15，10 英尺。
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RCBDMFC-3-10
電纜，質量流量控制器，RoHS，DB9，10 英尺。
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RCB147-1-10
質量流量計電纜，PR4000 控制器到 DB15 質量流量計，10 英尺。
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RCB147-12-10
質量流量計電纜，PR4000 控制器到 DB9 質量流量計，10 英尺。
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RCB147-7-10
質量流量計電纜，PR4000 控制器到 20 針卡邊流量計，10 英尺。
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