美國BROOKS流量計-SLA5800系列彈性體密封熱質量流量控制器和儀表介紹
型號 SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863 推進并簡化您的質量流量控制。
想象一下，只選擇一個質量流量控制器平臺來處理進入單個過程的十四種不同的壓力或流量。同時在另一側提供完全相同、超精確和可重復的輸出。這就是您使用 SLA5800 系列數字質量流量控制器和儀表所獲得的高級簡單性。
SLA5800 系列具有質量流量測量和控制技術行業領導者所期望的高精度、高零位穩定性和高重復性。SLA5800 數字 MFC 采用卓越的設計和先進的計量和測試系統制造，提供比競爭產品更好的零漂移規范。SLA5800 已被證明可以最大限度地延長生產正常運行時間并降低維護和機器停機成本。
特征
ISO/IEC 17025 認證
SLA 系列生物技術MFC提供兩個選項包，具有專門為提高生物工藝性能而創建的功能。查看哪個軟件包適合您的流程。
每年<0.2%滿量程的長期零穩定性
可追溯的校準標準支持卓越的準確性
流量額定值范圍廣 - 從 0.003 到 2500 lpm
最高壓力等級 - 高達 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）
可編程多氣體/多量程功能
獨立且易于訪問的診斷/服務端口
廣泛的可用通信選項現在包括EtherNetIP™和PROFINET，它們具有基于 Web 的界面，可讓您輕松配置網絡設置。
模塊化設計易于在工廠或現場維護
好處
提供ISO/IEC 17025認證和校準，流量精度為 SP 的 ±0.6%
MFC 氣流（濕路）中的所有彈性材料（包括SLA 系列生物技術MFC提供的閥座和 O 形圈）的增強型閥門關閉、寬量程比、認證和批準（USP Class VI/ADI-free）
傳感器的長期穩定性降低了維護和定期重新校準的要求，從而降低了總擁有成本
專有的 Brooks Instrument 熱傳感技術可提供出色的信噪比性能，以提高低設定點的準確度
為不同的氣體和流量范圍選擇一種設備平臺
多達六種氣體校準的存儲和預編程使用戶可以在單個設備上輕松切換不同氣體和范圍，并減少庫存
用戶可訪問的服務端口簡化了安裝、故障排除和診斷任務，而不會干擾流量控制器的操作
耐用、堅固的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞
EtherNet/IP™和PROFINET允許在質量流量控制器單獨提供的診斷之外進行多種附加診斷，為用戶提供豐富的實時系統信息
符合行業標準和法規要求的可追溯校準
應用
生命科學
化學和石化催化劑研究和中試工藝
實驗室和分析系統
燃料電池技術
產品類別質量流量控制器
微分器
寬流量和壓力范圍
卓越的長期穩定性
高準確率
表現
流量范圍（滿量程）.003 - 2500 slpm
準確性
17025 認證設備（包括線性度，不包括校準系統測量不確定度，根據 SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
標準設備（包括來自參考標準的不確定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
重復性
0.20% SP
線性度
包含在準確性中
響應時間
0.003 - 100 slpm：<1 秒
100 - 2500 slpm：<3 秒
多氣體和范圍可配置性
標準
最大壓力
.003-200 slpm：1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm：1000 psi/70 bar
50 slpm max 設備上的可選 4500 psi/310 bar
控制范圍
1-50 slpm：FS 調節比為 100:1
50-2500 lpm：FS 調節比為 50:1
零穩定性
< 0.2% FS 每年
流動溫度系數
零：<0.05% FS per o C
跨度：<0.1% SP per o C
壓力系數
0.03% 每 psi (0-200 psi N 2 )
態度敏感度
重新調零后與指定精度的最大偏差 <0.2% FS
收視率
最高溫度65攝氏度_
差壓范圍
控制器
.003 - 50 lpm：5 psi / 0.35 bar
50 - 100 lpm：10 psi / 0.69 bar
500 lpm：7.5 psi / 0.52 bar
1000 lpm：14.5 psi / 1.00 bar
2500 lpm：35.0 psi / 2.41 bar
泄漏完整性1x10 -9 atm cc/sec He
機械的
密封材料彈性體密封
接液材料
316L不銹鋼
高合金不銹鋼
Viton® 氟橡膠
丁腈橡膠
Kalrez®
鐵氟龍®/Kalrez®
三元乙丙橡膠
閥門選項
常閉
常開
儀表（無閥門）
診斷
診斷能力可用的
狀態燈
MFC 運行狀況、網絡狀態
警報
傳感器輸出
控制閥輸出
過溫
電源浪涌/驟降
網絡中斷
診斷/服務端口RS485 通過 2.5 毫米插孔
電氣
模擬通信
0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA
數字通信DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM現場總線
Profibus®
PROFINET
RS-485
電氣連接
DeviceNet™：1xM12，帶螺紋連接螺母 (B)
EtherCAT®、EtherNet/IP™：1x5 針 M8，帶螺紋耦合螺母/2xRJ45
Profibus®：1x15 針公 Sub-D/1x9 針母 Sub-D
RS485：1 x 15 針公 Sub-D，(A)
電源/消耗
模擬 / Profibus® / RS-485
閥口 > 0.032"：8 瓦
閥孔 ≤ 0.032"：5 瓦
不帶閥門：2 瓦
DeviceNet™ / EtherNet/IP™
閥口 > 0.032"：10 瓦
閥孔 ≤ 0.032"：7 瓦
不帶閥門：4 瓦 (DeviceNet™)、3 瓦 (EtherNet/IP™)
EtherCAT®
閥口 > 0.032"：8.5 瓦
閥孔 ≤ 0.032"：5.5 瓦
不帶閥門：2.5 瓦
遵守
認證/批準
ISO/IEC 17025:2005
CE：EMC 指令 2014/30/EU
指令 2011/65/EU
UL（認可）： I 類，2 區
，A、B、C、D
類 I 類，2 區，IIC T4
II 類，22 區
ATEX：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
環境合規
RoHS 指令 (2011/65/EU)
REACH 指令 EC 1907/2006
尺寸中等的