美國BROOKS流量計-質量流量控制器和儀表匯總
質量流量控制技術。無與倫比的工藝精度。
要真正控制任何過程，您必須精確測量正在發生的事情——在進料線、腔室中，在每個點——然后實時使用該信息來保持過程精確地達到目標并保持生產效率。
作為精密流體測量和控制領域的全球領導者，質量流量計制造商 Brooks Instrument 不斷創新熱式質量流量技術。從熱流量傳感器和質量流量計系統，我們不斷推出新產品并增強現有系統，以將熱質量流量測量精度、響應性、準確性和可重復性提升到新的水平。
我們的質量流量傳感器在全球范圍內使用最廣泛的主要原因包括：
業界最佳的數字質量流量計和其他產品系列，可滿足最廣泛的應用需求
MultiFlo™ 技術允許一臺設備更改氣體類型和范圍，而無需將設備從系統中移除并提高實際過程氣體的準確性。MultiFlo™ 可與熱質量或流量傳感器一起使用
完整的產品范圍包括用于熱式質量流量傳感器和科里奧利質量流量傳感器的彈性體密封和金屬密封選項
為滿足薄膜、半導體和其他高科技行業要求而設計的超高純度質量流量傳感器和設備
主要應用
質量流量傳感器的熱處理、切割和其他熱處理工藝
半導體和 LED 生產工具
薄膜沉積系統
生物制藥生物反應器
石化和化學氣體和液體中試裝置
吹掃氣體、過程分析和分析流量測量
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美國BROOKS流量計-彈性體密封熱 |
美國BROOKS流量計-金屬密封 |
美國BROOKS流量計-高溫熱 |
美國BROOKS流量計-科里奧利 |
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最寬的流量和壓力范圍
長期穩定性帶來持續價值
包括批準用于危險區域的產品
軟管沖洗/沖洗設備外殼
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適用于對水分或氧氣敏感的工藝
高純度流路最大限度地減少過程污染，提高產量
超快響應時間
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最高工作溫度
高精度和可重復性
超高純度結構
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極低流量過程的最高精度
固有流體密度計
適用于液體和氣體應用的設備
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流體類型
氣體
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流體類型
氣體
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流體類型
氣體、蒸汽
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流體類型
氣體、液體
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流量范圍（滿量程）
3 sccm - 2500 lpm
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流量范圍（滿量程）
.06 sccm - 300 slpm
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流量范圍（滿量程）
3 sccm - 10 slm
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流量范圍（滿量程）
10 - 27,000 克/小時
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準確性
± 0.6% SP
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準確性
SP ±1%
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準確性
SP ±1%
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準確性
費率的0.2% - 0.5%
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最大壓力
4500 磅/平方英寸
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最大壓力
150 磅/平方英寸
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溫度
150攝氏度_
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溫度
65攝氏度_
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輸出類型
模擬和數字
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輸出類型
模擬和數字
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輸出類型
模擬和數字
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輸出類型
模擬和數字
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