美國BROOKS流量計-寬范圍真空計
單規解決方案，可提高從大氣到高真空的精度。
VersaTorr 通過將微皮拉尼/壓電傳感器設計的進步與主動溫度補償和先進的數字信號處理相結合，擴展了基于 MEMS 的真空計測量的性能，從而將精度和工作范圍大大提高了 3 個十倍頻程。
主要應用
負載鎖
轉移室
前線
真空粗加工線
薄膜加工
產品
產品類別 雙傳感器：MEMS Pirani 和壓電隔膜 三傳感器：MEMS 皮拉尼、電容和壓電隔膜
微分器
精度更高，工作范圍寬，可實現可靠的抽空和基礎壓力測量
電容和壓電隔膜傳感器為過程控制提供擴展的高精度直接真空測量
壓力范圍
7.5x10 -7托至 1000 托
7.5x10 -7托至 1000 托
準確性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±5%
7.50 至 7.49 托：±1%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±0.5%
7.50 至 7.49 托：±0.5%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
溫度 環境溫度 - 50 o C 環境溫度 - 50 o C
模擬通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍頻 1V）
0.5-9.5 Vdc（每十倍頻 1V）
數字通信
RS-232
RS-485
RS-232
RS-485