美國mks流量計-GM50A流量控制器-GM51A流量控制器詳細介紹
GM50A 和 GM51A 數字控制質量流量控制器可用于模擬或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。數字控制電子設備利用最新的 MKS 控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點進行快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。數字校準在校準氣體上產生 1% 的設定點精度。
1、流速從 5 到 50,000 sccm
2、用特氟龍閥塞金屬密封
3、多種數字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 選擇
4、標準閉合電導泄漏率小于滿量程的 1.0%
5、小于 750 毫秒的建立時間
模型 滿量程流量范圍 配件類型 模擬連接器 可用性 價格
GM50A013101RMM020 10 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013101SMM020 10 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013102RMM020 100 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013103RMM020 1000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013103SMM020 1000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013201RMM020 20 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013202RMM020 200 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013203RMM020 2000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013204RMM020 20,000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013204SMM020 20,000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013501RMM020 50 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013502RMM020 500 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
GM50A013503RMM020 5000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯系我們
規格
類型 質量流量控制器 (MFC) 入口壓力系數 <0.02% 讀數/psi
控制范圍 滿量程的 2-100% 典型穩定時間 <750 毫秒，典型值高于滿量程的 5%
滿量程流量范圍 5 - 50000 sccm（當量 N2） 熱身時間 30分鐘
廣泛的數字和模擬接口選擇
GM50A 數控 MFC 可提供模擬或數字 I/O。數字控制電子設備采用最新的 MKS 控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。GM50A 的模擬和數字 I/O 可輕松用于替換 1179A MFC 的相同 I/O 類型。所有 GM50A 都包含 Modbus 作為可用的輔助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。
標準 3 英寸占地面積
GM50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范圍內采用 MFC 最常使用的標準 3 英寸占地面積，無需修改現有氣體管線配置即可使用。
金屬密封
GM50A 金屬密封 MFC 具有 10 µ 英寸電拋光 316L 表面光潔度，使該質量流量控制器可用于高純度應用。
設定點精度百分比
包含的數字校準產生 1% 的設定點準確度，使用 N2 校準氣體，用于 20% 至 100% 的滿量程流量范圍。設定點精度可實現精確的過程控制與相對于滿量程的精度。對于 2 至 20% 滿量程的質量流量，精度為 ±0.2% 滿量程。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監控 MFC 功能并就地收集性能數據。
專利熱傳感器
久經考驗的專利熱傳感器設計可提供出色的零位穩定性。美國專利號 5461913。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計/真空規、四極質譜儀、壓強控制系統、氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。美國mks流量計,GM50A流量控制器,GM51A流量控制器等產品外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。